曝光后在碱性显影液中显影，水洗并小合烘干，可得到深宽比大于7的微结构5对光刻后的微结构进行电镀，可得到三维金属微结构，可用湿式蚀刻法或反应性离子蚀刻除去预镀层的金和钨化钦5传统制造工艺l超精密机械制造工艺超精密机械制造是用硬度高于工件的工具，对工件材料进行切削加工目前所用的。该公司的主要客户有太阳能清洗方面保...